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弧源怎么样避免所存在的一些问题呢?

文章出处:网责任编辑:作者:人气:-发表时间:2019-03-01 10:44:04 【

     弧源装置改变了现有技术中磁场位置形状固定不变的缺点,通过脉冲电源来调节多个磁极平行于靶材平面的纵置线圈的电流,从而耦合出磁拱位置形状不同的磁场,使得靶材消耗更均匀,提高了靶材的利用率。并且本发明的弧源装置中由于脉冲电源的电流实时变化,使得磁拱顶部位置不断变动,电弧镀膜时弧斑运动轨迹不会固定汇聚在一处,从而减少了电弧液滴的产生。
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  目前最普遍的方法是提高靶材表面的磁拱顶部的磁场强度,以加快弧斑运动速度,减少液滴产生;构筑磁拱顶部尽量平且宽的磁场,以拓宽弧斑运动区域,但即使如此,弧斑运动区域的宽度改善依然有限,靶材利用率低。 提高工具、模具的加工质量和使用寿命一直是人们不断探索的课题。电弧离子镀技术是一种工模具材料表面改性技术,具有离化率高、可低温沉积、膜层质量好以及沉积速率快等其他镀膜方式所不具备的优势,已在现代工具以及各种模具的表面防护取得了理想的应用效果。
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  由于真空电弧的物理特性,外加电磁场是控制弧斑运动的有效方法,目前所有的磁场设计都是考虑在靶面形成一定的磁场位形,利用锐角法则限制弧斑的运动轨迹,利用横向分量提高弧斑的运动速度。
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