多弧离子镀的作用
多弧电源主要运用于多弧离子镀,金属材料等离子源和电弧等离子炬,归属于低压大电流电源,具备敏感安全可靠的过流保护功效。
离子镀是真空系统中,运用气体自放电或被挥发成分部位离化,在气体离子或被挥发成分颗粒轰击功效的另外,将挥发物或生成物沉淀在基片上。离子镀把辉光放电状况、等离子技术工艺和蒸发设备三个有机结合起來,不但能非常明显地改善了膜品质,并且还增加了薄膜的运用区域。其优势是薄膜附着性强,绕射性好,膜材普遍等。
但是多弧离子镀与通常的离子镀具有非常大的差别。多弧离子镀选用的是弧光自放电,而并非传统式离子镀的辉光放电来进行沉淀。简便的说,多弧离子镀的工作原理便是把阴极靶做为挥发源,根据靶与阳极外壳间的弧光自放电,使靶材挥发,进而在空間中产生等离子,对基体来进行沉淀。
多弧电源技术工艺是离子镀技术工艺的1种改善方式 ,它是把弧光自放电做为金属材料挥发源的表面层镀层技术工艺.因为多弧离子镀技术工艺具备镀膜速率高,膜层的致密度大,膜的附着性好等特性,使多弧离子镀镀层在工具、模貝的超硬镀膜、裝饰镀膜等方面的运用愈来愈普遍,并将占有愈来愈主要的地位.
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